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型號(hào)：GGH-11
說(shuō)明：GGH-11氦質(zhì)譜檢漏儀最小可檢漏率：1×10-11Pa?m3/s，漏率顯示范圍： 1×10-4～1×10-11Pa?m3/s ...
GGH-11型氦質(zhì)譜檢漏儀指標(biāo)
一、檢漏儀技術(shù)參數(shù)
1.最小可檢漏率：1×10-11Pa·m3/s
2.漏率顯示范圍： 1×10-4～1×10-11Pa·m3/s
3.啟動(dòng)時(shí)間： ≤5min
4.響應(yīng)時(shí)間：≤1S
5.檢漏口最高壓力： 1000Pa
6.檢漏口對(duì)氦抽速： 1.5l/s
7.重量：75kg
8.工作環(huán)境: 溫度：12 oC至40 oC, 相對(duì)濕度≤80%
二、檢漏儀所配置的分子泵的技術(shù)參數(shù)
| 抽速L/S | 50L/S |
| 抽氣時(shí)間(14L容積) | 80 sec (100 mbar);110 sec (1 mbar); |
| 155 sec (1e-4 mbar); 400sec (1e-5 mbar) | |
| 壓縮比N2/He/H2 | 5×108/8×104/7×103 |
| 渦輪泵轉(zhuǎn)速 | 36.000 RPM |
| 啟動(dòng)時(shí)間 | ＜60S |
| 安裝位置 | 任意 |
| 運(yùn)行溫度 | 5°C – 50°C |
| 推薦前級(jí)泵 | DS42 DS302 |
| 入口法蘭直徑 | KF40 |
| 前級(jí)法蘭直徑 | KF16 |
| 重量 | 16.7Kg |
三、檢漏儀所配置的機(jī)械泵的技術(shù)參數(shù)
| 抽氣量 | 50HZ：4L/S |
| 抽速 | 50HZ：3L/S |
| 極限分壓強(qiáng) | 10-4mbar |
| 極限總壓強(qiáng) | 2×10-3mbar |
| 帶氣振閥的極限總壓強(qiáng) | 1×10-3mbar |
| 水蒸氣壓強(qiáng) | 30mbar |
| 水蒸氣容量 | 350g/h |
| 油體積 最小/最大 | 0.25/0.6 |
| 發(fā)動(dòng)機(jī)功率 | 0.75kw |
| 轉(zhuǎn)速 50HZ rpm | 1500 |
| 重量 | 25Kg |
| 進(jìn)氣口法蘭 | 25KF DN |
| 排氣口法蘭 | 25KF DN |
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